Οπτικά συστήματα δυναμικής σάρωσης: 1 φακός μικρής εστίασης, 1-2 φακοί εστίασης, καθρέφτης Galvo. Ολόκληρος ο οπτικός φακός αποτελεί συνάρτηση της διαστολής της δέσμης, της εστίασης και της εκτροπής της δέσμης και της σάρωσης.
Το διαστελλόμενο μέρος είναι ένας αρνητικός φακός, δηλαδή ένας μικρός φακός εστίασης, ο οποίος πραγματοποιεί διαστολή δέσμης και κινούμενο ζουμ, ο φακός εστίασης αποτελείται από μια ομάδα θετικών φακών. Ο καθρέφτης galvo είναι καθρέφτης στο σύστημα γαλβανόμετρου.
(1) Βελτιστοποίηση σχεδιασμού φακού: Βέλτιστη αναλογία διαμέτρου προς πάχος
(2) Υψηλό όριο ζημιάς φακού:>30J/cm2 10ns
(3) Επίστρωση εξαιρετικά χαμηλής απορρόφησης, ρυθμός απορρόφησης: <20ppm
(4) Λόγος πάχους γαλβανόμετρου προς διάμετρο: 1:35
(5) Ακρίβεια επιφάνειας φακού: <= λ/5
Μετα-αντικειμενικός φακός
| Μέγιστη μαθήτρια εισόδου (mm) | Οπτική 1 Διάμετρος (mm) | Οπτική 2 Διάμετρος (mm) | Οπτική 3 Διάμετρος (mm) | Πεδίο σάρωσης (mm) | Καθαρό διάφραγμα του σαρωτή (mm) | Μήκος κύματος |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 μm |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
Ανακλαστικός καθρέφτης
| Περιγραφή εξαρτήματος | Διάμετρος (mm) | Πάχος (mm) | Υλικό | Επένδυση |
| Ανακλαστήρας πυριτίου | 25.4 | 3 | Πυρίτιο | HR@10.6um,Γωνία εισόδου: 45° |
| Ανακλαστήρας πυριτίου | 30 | 4 | Πυρίτιο | HR@10.6um,Γωνία εισόδου: 45° |
| Ανακλαστήρας ινών | 25.4 | 6.35 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Ανακλαστήρας ινών | 30 | 5 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Ανακλαστήρας ινών | 50 | 10 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 Ανακλαστήρας | 25.4 | 6 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Ανακλαστήρας | 25.4 | 6.35 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Ανακλαστήρας | 30 | 5 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Ανακλαστήρας | 50 | 10 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Ανακλαστήρας | 25.4 | 6 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Ανακλαστήρας | 25.4 | 6.35 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Ανακλαστήρας | 25.4 | 10 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Ανακλαστήρας | 30 | 5 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Καθρέφτης Galvo
| Περιγραφή εξαρτήματος | Μέγιστη μαθήτρια εισόδου (mm) | Υλικό | Επένδυση | Μήκος κύματος |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Πυρίτιο | MMR@10.6um | 10,6 μm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@532nm | 532nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Λιωμένο πυρίτιο | HR@355nm | 355nm |
Προστατευτικός φακός
| Διάμετρος (mm) | Πάχος (mm) | Υλικό | Επένδυση |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
